学术活动

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微机电系统技术及其工程应用

 

主讲人: 蒋永刚 博士(日本东北大学)
时  间: 2009年03月23日 13:30
地  点: 教三楼226
主  办: 威尼斯欢乐娱人城1099物理系
介  绍: 微机电系统技术(MEMS)在微电子技术的基础上发展起来的一门新技术,通过集成微传感器、驱动器、甚至检测和控制电路,实现器件的高性能化和低成本化,因而具有广阔的应用前景。比如,加速度传感器、压力传感器、微陀螺、红外线热成像仪等已经在汽车和航空航天业中得到了广泛应用。通过MEMS技术开发的高感度传感器,正在开拓太赫兹的未知领域,实现电子自旋的控制,为生物学和量子力学的发展提供着巨大的推动力量。基于MEMS技术,还可以对人体的血糖、血压、体温、心电图实现集成无线检测,在未来老龄化社会里将起到不可替代的作用。

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