学术活动
纳米半导体器件的未来发展方向
2011-05-31
来源:科技处 点击次数:主讲人:王占国 中科院院士 中科院半导体研究所
时 间:5月31日上午9:00
地 点:教三楼物理系二层会议室
摘 要:
综述半导体电子器件由真空电子管到固体晶体管,直至纳米电子器件的发展历程。分别比较了不同的半导体电子器件的材料、理论和所采用的制备技术。在此基础上综述了当前较热门的纳米电子学和固态纳米电子器件,并由纳米器件的分类简单介绍了当前固态纳米电子器件的三个部分,即量子点、谐振隧穿器件和单电子晶体管。介绍了新型微电子器件发展现状和主要技术,分析了微电子器件可靠性技术发展趋势,提出我国半导体器件可靠性技术发展对策和建议,最后对我国的半导体器件的发展提出了展望。
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